真空紫外光譜檢測裝置主要說明

摘要：

真空紫外光譜檢測裝置屬于光譜分析領域。該裝置包括：入口狹縫(2)，凹面光柵(3)，光纖陣列(4)和平板檢測器(5)。入口狹縫(2)和凹面光柵(3)安裝于真空腔體(1)之中，光纖陣列(4)的一個端面與由入口狹縫(2)和凹面光柵(3)所決定的羅蘭圓面重合。光纖陣列(4)的該端面涂有可將真空紫外光轉化為可見光的熒光物質，另一端面分叉為多個子光纖陣列，子光纖陣列的端面為平面并分別與一個平板檢測器(5)相連接。本裝置有同時測量一定波長范圍內真空紫外光譜的能力，并達到掠入射光柵真空紫外光譜儀的光譜和像素分辨率，檢測的時間響應好且有很高的靈敏度；真空腔體內無需可移動部件，結構簡單可靠。

主權項：

一種真空紫外光譜檢測裝置，其特征在于，依次包括：入口狹縫(2)，凹面光柵(3)，光纖陣列(4)和平板檢測器(5)；入口狹縫(2)和凹面光柵(3)安裝于真空腔體(1)之中，光纖陣列(4)的一個端面與由入口狹縫(2)和凹面光柵(3)所決定的羅蘭圓面重合，光纖陣列(4)的該端面涂有可將真空紫外光轉化為可見光的熒光物質，另一端面分叉為多個子光纖陣列，這些子光纖陣列的端面都為平面并分別與一個平板檢測器(5)相連接；光纖陣列(4)與真空腔體(1)真空密封連接。http://m.zgshfp.com